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云开体育全站app取得纳米孔；对所述纳米孔进行电化学表征检测-云开·体育全站app(kaiyun)(中国)官方网站 登录入口

发布日期：2026-01-17 16:06    点击次数：105

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金融界2024年12月11日音讯，国度常识产权局信息披露，上海新微技艺研发中心有限公司央求一项名为“一种基于双束显微镜的制备纳米孔的才智及装配”的专利，公开号 CN 119100327 A，央求日历为2023年5月。

专利摘记披露，本发明提供了一种基于双束显微镜的制备纳米孔的才智，包括：提供一硅片衬底基体；其中，所述硅片衬底基体的两侧名义各千里积一层氮化硅薄膜；通过半导体工艺将所述氮化硅薄膜进行图像化，取得图像化氮化硅薄膜；通过所述双束显微镜将所述图像化氮化硅薄膜进行打孔处罚，取得纳米孔；对所述纳米孔进行电化学表征检测。本发明欺诈双束显微镜，具有精致的分歧率，而况接受氮化硅材料不错通过光学大要电学的样貌同期检测多个颗粒过孔的脉冲信号。本发明还提供了一种装配，具有相应上风。

本文源自：金融界

作家：谍报员
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